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                                  首頁 ? 產品中心 ? PVD鍍膜設備 ? 蒸發鍍膜設備

                                  OLED有機無機蒸發鍍膜系統
                                  編號:SN20151013153956185
                                  類別:蒸發鍍膜設備
                                  • 產品概述
                                  • 規格參數
                                  • 服務支持

                                    設備用途

                                        用于生長薄膜太陽能電池,EL OEL分子有機電致發光器件薄膜的研究工作。廣泛應用于大專院校、科研院所進行薄膜材料的科研與小批量制備。

                                     

                                    設備組成

                                        該系統采用直線式結構,主要由二個有機材料生長室組成,兩個有機材料生長室之間通過閘板閥聯接,其中一個生長室系統預留與手套箱對接接口,能夠完成二套獨立的制備薄膜系統之間互相傳送基片。有機材料生長室主要由真空室腔體組件、有機蒸發源、熱阻蒸發舟、樣品傳遞裝置、樣品臺、膜厚監測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。

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