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                                  PRODUCT

                                  產品中心

                                  首頁 ? 產品中心 ? CVD鍍膜設備 ? 硬碳膜制備設備

                                  FHL-600型硬碳膜制備設備
                                  編號:SN20150801154211421
                                  類別:硬碳膜制備設備
                                  • 產品概述
                                  • 規格參數
                                  • 服務支持

                                     

                                    設備用途

                                        單室立式結構的高真空鍍膜設備,可用于開發單層膜—類金剛石膜(DLC)等。類金剛石膜具有紅外光譜透過率高、硬度高、摩擦系數小、化學穩定性好等優點,可以作為多種光學材料的增透率和保護膜,起到抗磨損、抗腐蝕、抗潮解和抗氧化的作用。適用于批量生產紅外透鏡的軍工及光學鏡片廠家。

                                     

                                    設備組成

                                        主要由鍍膜室、靶電極、射頻電源、電磁線圈及控制電源、泵抽系統、真空測量系統、電控系統、氣路系統、水路系統等組成。

                                     

                                    樣片


                                     

                                    技術指標

                                     

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