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                                  PRODUCT

                                  產品中心

                                  首頁 ? 產品中心 ? LED襯底及窗口片設備 ? 碳化硅晶體生長爐

                                  碳化硅單晶爐系統TDL60P
                                  編號:SN20150801142150212
                                  類別:碳化硅晶體生長爐
                                  • 產品概述
                                  • 規格參數
                                  • 服務支持

                                    設備用途
                                    主要用于半導體和LED行業。采用中頻感應加熱方式,物理氣相傳輸法生長優質光學晶體。


                                    設備組成
                                    本系統采用單室立式雙層水冷不銹鋼結構。由爐膛、真空獲得及測量系統、籽晶桿拉送系統、坩堝桿拉送系統、感應加熱系統、電控系統等組成。

                                    技術指標

                                    型號

                                    TDL60P

                                    爐內真空度

                                    極限真空

                                    6.6×10-5Pa

                                    系統抽速

                                    60分鐘內真空度<2×10-3Pa(短時間暴露大氣并充入干燥氮氣開始抽氣

                                    系統漏率

                                    停泵關機12小時后真空度≤10Pa

                                    爐體

                                    主爐膛

                                    尺寸Φ600×800 mm

                                    副爐膛

                                    尺寸Ф300×400mm

                                    轉速

                                    0~30rpm

                                    提拉速度連續可調范圍

                                    0.06~6㎜/h

                                    快提拉速度連續升降可調

                                    ≥50㎜/min

                                    有效行程

                                    390㎜

                                    坩堝傳動機構

                                    轉速

                                    0~30rpm

                                    升速范圍

                                    0.06~6㎜/h

                                    快提拉速度連續升降可調

                                    ≥50㎜/min

                                    有效行程

                                    560㎜

                                    額定總功率

                                    55KW

                                    循環水用量

                                    3m3/h

                                    真空配置

                                    分子泵、機械泵、插板閥

                                    占地面積

                                    主機

                                    1500×2500mm2

                                    電控柜

                                    700×700mm2(一個)

                                  留言咨詢 (* 為必填項目)
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